Магнитная пленка поможет развитию микроэлекромеханики

Источник сообщает о результатах проекта M2EMS, целью которого была разработка новых приборов, в которых используются пленочные постоянные магниты. Как ожидается, эти приборы будут полезными для многих приложений микроэлектромеханических систем (MEMS). По мнению координатора проекта, Клода Фермона (Claude Fermon), «технология, созданная в ходе проекта, поможет значительно уменьшить размер, вес и стоимость этих устройств [MEMS]».

Быстрое развитие технологии MEMS, имеющее место в последние годы, создало множество проектов в самых разных областях, включая автомобилестроение и медицину, фармацевтику и бытовую технику, биоинженерию и исследования космоса. Преимущества MEMS – миниатюрность, высокое быстродействие, точность и интеграция датчиков с управляющей электроникой.

Однако на пути успешного развития новой технологии есть немало препятствий. Одно из них связано с тем, что в миниатюрных приборах зачастую не обойтись без постоянного магнитного поля. Именно эта потребность открывает перед пленочными постоянными магнитами широкое поле для применения.

Магнитная пленка, созданная из твердых постоянных магнитов, может быть использована в микросистемах, выполняющих функции генераторов, двигателей, датчиков и приборов с магнитной связью.

Фокус исследований в рамках проекта M2EMS приходился на разработку магнитных материалов «наноуровня», которые были бы совместимы с остальными компонентами MEMS и используемыми технологиями, в частности, низкотемпературным производственным процессом.

Участники проекта смогли создать пленки с постоянным магнитным полем, толщина которых не превышает 10 мкм. Кроме того, разработана более толстая пленка (до 1 мм) и процесс интеграции пленок в различные микросистемы. В частности, был продемонстрирован массив MEMS-датчиков для навигационных применений, микромотор и микрогенератор, в которых использовались магнитные пленки.

В настоящее время идут переговоры о коммерциализации разработок.

Инф. iXBT со ссылкой на IST